微传感器、微机电系统和灵巧器件

出版者:(影印版) (2004年3月1日)

作者:加德纳 (Gardner Jullan W.)

页数:503

出版时间:2004-3

价格:55.00

装帧:平装

isbn号码:9787302081227

丛书系列:国际知名大学原版教材——信息技术学科与电气工程学科系列

微传感器、微机电系统（MEMS，micro=electro=mechanical systems）正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统（microsystems）或片上系统（system-on-a-chip）将微电子电路和微执行器结合在一起，形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍微传器技术，并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来，适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读。由于本书内容丰富全面，对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。