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微传感器、微机电系统和灵巧器件 2024 pdf epub mobi 电子书

微传感器、微机电系统和灵巧器件
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发表于2024-10-01

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丛书系列:国际知名大学原版教材——信息技术学科与电气工程学科系列

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微传感器、微机电系统和灵巧器件 2024 pdf epub mobi 电子书 图书描述

微传感器、微机电系统（MEMS，micro=electro=mechanical systems）正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统（microsystems）或片上系统（system-on-a-chip）将微电子电路和微执行器结合在一起，形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍微传器技术，并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来，适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读。由于本书内容丰富全面，对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。

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