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发表于2025-05-30

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出版者:化学工业出版社
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出品人:
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译者:王春海
出版时间:2003-9
价格:38.0
装帧:平装
isbn号码:9787502546922
丛书系列:

图书标签:  

微系统技术 2025 pdf epub mobi 电子书 图书描述

本书是德国WILEY-VCH出版社“Microsystem Technology”一书的中译本，讲述微系统技术领域内的相关内容。全书分为10章，前4章介绍微系统技术的基础知识、如微系统与微结构间的相互关系、单晶硅的生产、微系统技术的物理和化学基础等；5-10章为本书核心，详细介绍微系统技术的基本工艺方法，包括光刻技术、硅技术、LIGA技术(X射线电镀成型)、封装技术等。

本书可作为高校相关专业学生的等候课教材和课外读物，也适用于微系统技术的专业人员和对微系统技术感兴趣的人员阅读。

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