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硅微机械传感器 2025 pdf epub mobi 电子书

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发表于2025-03-11

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页数:306
译者:陶家渠
出版时间:2003-1
价格:35.00元
装帧:
isbn号码:9787801446060
丛书系列:

图书标签:  

硅微机械传感器 2025 pdf epub mobi 电子书 图书描述

本书详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。因为设计和制造传感器需要多学科的知识，只有经过电学、机械工程、物理和化学培训的工程师才能够进入这个领域并胜任此项工作。为了满足这个需求，本书从有关硅微机械传感器设计所需的基本科学知识开始，论述了包括物理定律的按比例缩小、梁和膜变形的力学、传感原理、流体流动和热传递的基本规律以及相关的电子电路等众多技术环节。此外还向读者介绍了硅微机械加工工艺和传感器封装的基本知识，并用压力传感器、力学传感器、加速度计、陀螺和流体传感器的众多例子说明了设计、制造和性能方面的有关问题。

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