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发表于2024-10-05

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出版者:科学出版社
作者:李德胜
出品人:
页数:285
译者:
出版时间:2005-7
价格:48.00元
装帧:精裝本
isbn号码:9787030152886
丛书系列:

图书标签:  

微纳米技术及其应用 2024 pdf epub mobi 电子书 图书描述

《微纳米技术及其应用》在概述了微机电系统技术（MEMS）的发展背景、现状及应用前景的基础上，论述了MEMS基本理论基础，并对MEMS相关工艺做了详尽的介绍。书中分别介绍了MEMS应用，数种典型的物理传感器和化学传感器的工作原理及制造工艺；对各类微操作器/微执行器、微机械零件、微泵及微机电系统也做了比较详细的论述，之后介绍了与生物芯片相关的技术及纳米技术。

《微纳米技术及其应用》可供微电子、机电一体化、精密仪器及仪表等专业研究与技术人员参考，也可作为相关专业高年级与研究生的教学参考书。

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