SOI CMOS技术及其应用

出版者:科学出版社

作者:黄如

页数:383

出版时间:2005-10

价格:48.0

装帧:平装

isbn号码:9787030159687

具体描述

本书从材料、器件、工艺和电路角度系统地介绍SOI CMOS技术。全书共分8章，从SOI材料的主要制备技术以及表征技术开始，详细分析和阐述SOI MOS器件的主要基本特性和物理效应，包括浮体效应、短沟效应、窄沟效应、边缘效应、热载流子效应、自加热效应以及器件的瞬态特性、噪声特性和抗辐射特性等；然后从定量分析的角度介绍器件的理论模型；介绍SOI CMOS工艺制备技术以及一些很有潜力的新型SOI器件；最后重点介绍SOI CMOS电路应用，包括SOI微处理器电路、数模混合信号电路、射频集成电路、存储器电路以及高温高压SOI电路等。本书取材新颖，涵盖了SOI CMOS技术的基本知识和最新进展。

本书可作为微电子专业的研究生和高年级本科生以及专业技术人员的重要参考书，也可以作为信息领域其他专业的学生和相关科研人员、工程技术人员的重要参考资料。

作者简介

黄如，女，教授，博士生导师。北京大学信息科学技术学院副院长，微电子学研究院院长 研究方向： SOI技术；纳米尺度半导体新结构逻辑和存储器件；模型模拟及射频相关技术等

2006年获国家杰出青年科学家基金，2008年获聘长江学者特聘教授；现为《中国科学》副主编、信息产业科技发展“十一五”计划和2020年中长期规划编制专家组专家；中国电子学会半导体与集成技术分会委员会委员；专业国际核心期刊”IEEE Transactions on Electron Devices”的editor。

现主要从事新结构、新工艺器件研究以及射频电路相关技术研究。主持了国家973课题、863课题、国家杰出青年基金项目、国家自然基金重点项目和面上项目、电子预研等多项国家项目。

在纳米尺度新结构器件、新工艺技术、器件可靠性、射频元器件及相关电路技术等方面取得了若干创新成果，提出了面向不同应用和不同集成电路技术代的新型准SOI 器件、垂直双栅器件、BOI FinFET结构、基于传统微电子加工方法的围栅纳米线器件、VDNROM和DDFG闪存器件等新器件技术；主持研究了DTV射频调谐器和RF ID相关技术的开发。

已合作出版著作4本，发表论文200余篇。获得26项授权发明专利，获专利申请号的发明专利22项。

曾获北京市科学技术发明一等奖、教育部科技进步一等奖、中国青年科技奖、教育部霍英东青年教师研究奖、中国青年女科学家提名奖、教育部新世纪优秀人才计划等部委级奖励。

用户评价

这本书简直是 SOI CMOS 技术领域的百科全书！我之前对 SOI 的了解非常零散，很多概念也模糊不清。但通过阅读《SOI CMOS技术及其应用》，我建立了一个非常清晰和完整的认知体系。作者的讲解非常系统化，从 SOI 的发展历史、不同类型的 SOI 衬底（如 SIMOX、Wafer Bonding、Smart Cut™）的制备工艺，到 SOI CMOS 器件的结构、特性和设计方法，再到其在各种应用领域的具体体现，层层递进，逻辑清晰。我尤其喜欢书中关于 SOI 器件物理特性的部分。作者深入浅出地解释了SOI 技术带来的关键优势，比如“更好的栅控”（Better Gate Control）和“更低的寄生电容”（Lower Parasitic Capacitance），以及这些优势如何转化为更快的开关速度和更低的功耗。书中对“浮体效应”的详细解析，以及如何通过“背栅”或“接触式浮体”（Contacted Floating Body）等技术来有效管理这一效应，对我理解SOI 器件的性能优化至关重要。在应用方面，书中对 SOI 在数字逻辑、模拟信号处理、射频通信以及功率电子等领域的广泛应用进行了详实的介绍，并且引用了大量的实际案例。例如，在移动通信领域，书中详细阐述了 SOI 技术如何帮助实现更高集成度、更低功耗的射频前端芯片。我还了解到 SOI 在汽车电子领域的应用，特别是其在高性能传感器和控制单元中的优势，比如更好的抗辐射能力和高温稳定性。作者还对新兴的 SOI 技术，如 FD-SOI（全耗尽 SOI）和 UT-SOI（超薄体 SOI）进行了介绍，并分析了它们在实现更先进的工艺节点和更优异的器件性能方面的潜力。这本书的图文并茂，使得理解过程更加直观和生动。

作为一名对集成电路设计有着浓厚兴趣的业余爱好者，我一直在寻找一本能够深入浅出介绍 SOI CMOS 技术的好书。《SOI CMOS技术及其应用》无疑是我的首选。这本书的内容非常扎实，从 SOI 技术的基本概念到其在各个领域的应用，都做了详尽的阐述。我非常欣赏作者在讲解SOI 技术优势时所采取的对比方法，通过与传统 Bulk CMOS 技术进行比较，清晰地突出了 SOI 技术在性能、功耗和可靠性方面的优越性。书中对SOI 技术如何实现“高速度”（Higher Speed）和“低功耗”（Lower Power Consumption）的机制进行了深入的分析，例如其减少的衬底漏电和寄生电容。我特别关注书中关于SOI 技术在低功耗应用领域，例如物联网（IoT）和可穿戴设备中的应用。书中详细介绍了SOI 技术如何通过其低漏电流特性，显著延长设备的电池续航时间，以及如何通过高集成度来减小设备体积。此外，书中对SOI 技术在射频（RF）领域的应用也进行了深入的探讨，例如在开关、低噪声放大器（LNA）和功率放大器（PA）等关键射频组件中的应用，以及SOI 如何实现高频下的优异性能。作者在讲解过程中，使用了大量的图表和模型，使得复杂的物理原理和器件特性变得易于理解。书中还涉及了SOI 技术的一些前沿进展，例如对FD-SOI（全耗尽 SOI）和 UT-SOI（超薄体 SOI）的介绍，以及它们在未来先进工艺节点中的应用前景。这本书的深度和广度都让我印象深刻，为我理解 SOI CMOS 技术提供了一个坚实的基础。

这本书的结构和内容安排非常合理，为我深入理解 SOI CMOS 技术打开了新的视野。我一直对集成电路的物理细节和实际应用场景有着浓厚的兴趣，而《SOI CMOS技术及其应用》恰好满足了我的这一需求。书中对 SOI 技术核心的“绝缘层”（Insulating Layer）如何影响器件性能进行了详尽的分析，包括其对栅极控制能力、漏电特性和寄生效应的影响。我尤其欣赏书中关于 SOI 器件中的“沟道设计”（Channel Design）和“衬底工程”（Substrate Engineering）的讨论，这些内容对于理解如何优化 SOI 器件的性能至关重要。例如，书中详细介绍了不同 SOI 衬底厚度对器件的阈值电压、漏电和亚阈值摆幅的影响，以及如何通过选择合适的衬底类型来满足特定的应用需求。在应用方面，书中对 SOI 技术在高性能数字电路、低功耗模拟电路以及高频射频电路中的应用进行了详细的介绍，并且引用了大量的实际产品案例。我尤其关注书中关于 SOI 技术在服务器和数据中心领域应用的讨论，其中详细介绍了 SOI 技术如何通过更高的性能和更低的功耗来提升计算效率。书中还探讨了 SOI 技术在汽车电子领域的应用，例如在车身控制单元、ADAS（高级驾驶辅助系统）和信息娱乐系统中的优势，特别是其高温稳定性和可靠性。作者还对新一代 SOI 技术，如 FD-SOI（全耗尽 SOI）和 UT-SOI（超薄体 SOI）进行了介绍，并分析了它们在实现更小尺寸、更低功耗和更优越的性能方面的潜力。这本书的深入性和实用性让我受益匪浅。

我是一名在实际工作中遇到SOI CMOS相关问题的工程师，寻找一本能提供切实解决方案的书籍一直是我的目标。《SOI CMOS技术及其应用》恰恰满足了我的需求。这本书的内容非常实用，它不仅讲解了SOI CMOS技术的理论基础，更重要的是，它提供了大量实际应用中的案例分析和工程经验。在书中，我找到了关于SOI器件设计中一些棘手问题的答案。例如，书中对SOI CMOS器件的寄生二极管导通（Parasitic Bipolar Conduction）问题进行了详尽的分析，并提供了如何通过调整工艺参数和器件结构来减小该效应的方法。这对于设计高速、低功耗的数字逻辑电路非常有指导意义。同时，书中关于SOI CMOS在低压差线性稳压器（LDO）和DC-DC转换器等电源管理芯片中的应用，给出了很多宝贵的参考设计和优化思路。我了解到SOI技术如何通过其低漏电流特性，显著提升电源效率，尤其是在待机模式下。此外，书中对SOI CMOS在射频前端模块（RF Front-End Module）中的应用，也进行了深入的探讨，详细介绍了SOI技术如何在高频环境下提供优异的性能，例如在功率放大器（PA）和射频开关（RF Switch）等关键组件中的应用。书中对不同SOI衬底类型的选择和影响，以及在特定应用场景下的权衡，都有非常清晰的阐述。例如，针对需要高击穿电压的功率应用，书中会推荐使用具有较厚绝缘层的SOI衬底，并详细说明了其优势和设计上的考虑。总的来说，这本书就像是一位经验丰富的导师，为我在SOI CMOS技术的应用过程中指明了方向，并提供了解决实际问题的工具和方法。

我一直对半导体器件的物理原理和制造工艺有着极大的热情，而 SOI CMOS 技术因其独特的优势，一直是我关注的焦点。《SOI CMOS技术及其应用》这本书，可以说是为我量身打造的。从这本书的字里行间，我能感受到作者在 SOI CMOS 技术领域的深厚积累和独到见解。书中对 SOI 技术如何克服传统 Bulk CMOS 的一些固有缺陷，例如“短沟道效应”（Short-Channel Effects）和“漏电”（Leakage）问题，进行了非常清晰的阐述。我特别喜欢书中对“浮体效应”（Floating Body Effect）的详细解析，以及作者提出的各种解决方案，例如通过“浮体端接地”（Floating Body Grounding）或“背栅”（Back Gate）来控制这一效应。这对于我理解 SOI 器件的性能稳定性和可靠性至关重要。在应用层面，书中对 SOI CMOS 在数字逻辑、模拟电路、射频电路以及功率电路等各个领域的应用进行了详尽的介绍，并且引用了大量的实际产品案例。我尤其对书中关于 SOI 技术在高性能计算领域应用的讨论感到兴奋，其中详细介绍了 SOI 技术如何赋能下一代 CPU 和 GPU，通过更高的时钟频率和更低的动态功耗来提升计算能力。书中还涉及了 SOI 技术在汽车电子领域的应用，特别是其在高性能传感器和控制单元中的优势，比如更好的抗辐射能力和高温稳定性。作者还对新一代 SOI 技术，如 FD-SOI（全耗尽 SOI）和 UT-SOI（超薄体 SOI）进行了介绍，并分析了它们在实现更小尺寸、更低功耗和更优越的性能方面的潜力。这本书的深入性和广泛性让我对 SOI CMOS 技术有了更全面、更深刻的认识。

这本书的专业性和前沿性让我印象深刻。作为一名在半导体行业工作的工程师，我一直在寻找一本能够系统介绍 SOI CMOS 技术及其最新发展趋势的书籍。《SOI CMOS技术及其应用》这本书，可以说是一本不可多得的参考资料。书中对 SOI 技术的核心优势，例如“更好的栅极控制”（Better Gate Control）和“更低的寄生电容”（Lower Parasitic Capacitance），进行了详尽的分析，并解释了这些优势如何转化为更快的开关速度和更低的功耗。我尤其欣赏书中关于 SOI 技术在高性能RF（射频）应用中的讨论，例如在低噪声放大器（LNA）、开关和功率放大器（PA）等关键射频组件中的应用，以及SOI 如何实现高频下的优异性能。书中还详细介绍了不同类型的SOI衬底（如SIMOX、Wafer Bonding、Smart Cut™）的制备工艺，以及它们各自的优缺点和适用场景。这对于我理解SOI技术的根本原因和发展方向非常有帮助。此外，书中还探讨了SOI技术在数字逻辑、模拟电路以及功率电子等领域的应用，并且引用了大量的实际产品案例。我特别被书中关于SOI技术如何实现更高集成度和更低功耗的讨论所吸引，这对于移动设备和物联网（IoT）应用至关重要。作者还对新一代SOI技术，如FD-SOI（全耗尽 SOI）和UT-SOI（超薄体 SOI）进行了介绍，并分析了它们在实现更先进的工艺节点和更优异的器件性能方面的潜力。这本书的专业性、前沿性和实用性都让我受益匪浅，为我今后的工作提供了宝贵的参考。

这本书简直是为我量身定做的！作为一名对集成电路设计充满热情但又缺乏系统性知识的跨专业者，我一直苦于找不到一本既能深入浅出讲解SOI CMOS技术精髓，又能广泛涵盖其应用场景的读物。《SOI CMOS技术及其应用》的出现，彻底解决了我的困扰。我非常欣赏作者在内容组织上的匠心独运。全书从SOI CMOS技术的基本原理讲起，循序渐进地剖析了其与传统Bulk CMOS的差异，特别是其在提高器件性能、降低漏电、增强抗辐射能力等方面的独特优势。书中对SOI衬底的类型（如SIMOX、Si on Insulator by Wafer Bonding、Smart Cut™等）以及它们各自的制备工艺进行了详细的描述，这对于理解SOI技术的基础至关重要。更让我惊喜的是，作者并没有停留在理论层面，而是花费了大量篇幅来探讨SOI CMOS在各个领域的实际应用。无论是高性能的处理器、低功耗的移动设备，还是高可靠性的汽车电子、航空航天领域，书中都有深入的案例分析。通过这些鲜活的应用实例，我不仅看到了SOI CMOS技术的强大潜力，也更清晰地认识到其在未来科技发展中的重要地位。比如，书中关于SOI在RF（射频）领域的应用，详细阐述了SOI MOSFETs如何凭借其优越的沟道控制能力和高栅极击穿电压，成为高性能低噪声放大器（LNA）、开关和混频器的理想选择。此外，书中还提到了SOI在功率器件方面的进展，例如SOI LDMOS在电源管理和射频功率放大器中的应用，这对我理解现代电力电子器件的设计思路非常有启发。作者在讲解过程中，善于运用图表和示意图，将复杂的物理过程和电路结构形象化，极大地降低了理解难度。即使是对于一些涉及量子效应或先进工艺的章节，作者也能通过类比和深入浅出的语言，帮助读者建立起清晰的认知框架。总而言之，这本书是我进入SOI CMOS技术领域的一盏明灯，为我打开了一扇通往前沿半导体技术的大门。

我一直对集成电路的最新技术动态保持关注，而《SOI CMOS技术及其应用》这本书，则为我打开了一个了解 SOI CMOS 技术发展脉络的窗口。这本书的内容涵盖了 SOI 技术从发展初期到当前前沿进展的各个方面，非常全面。我尤其欣赏作者对 SOI 技术核心优势的系统性讲解，例如其在“提高器件性能”（Enhanced Device Performance）和“降低功耗”（Reduced Power Consumption）方面的显著优势。书中对“绝缘栅效应”（Buried Oxide Effect）的详尽分析，以及作者如何通过优化绝缘层厚度和材料来提升器件性能，都给我留下了深刻的印象。这对于我理解 SOI 器件的电气特性和设计思路非常重要。在应用方面，书中对 SOI CMOS 在数字逻辑、模拟电路、射频电路以及功率电路等各个领域的应用进行了详尽的介绍，并且引用了大量的实际产品案例。我尤其喜欢书中关于 SOI 技术在移动通信领域应用的讨论，其中详细介绍了 SOI 技术如何帮助实现更高集成度、更低功耗的射频前端芯片。书中还探讨了 SOI 技术在物联网（IoT）和可穿戴设备中的应用，特别是其低漏电流特性如何延长设备的电池续航时间。作者还对新一代 SOI 技术，如 FD-SOI（全耗尽 SOI）和 UT-SOI（超薄体 SOI）进行了介绍，并分析了它们在实现更小尺寸、更低功耗和更优越的性能方面的潜力。这本书的深入性和广泛性让我对 SOI CMOS 技术有了更全面、更深刻的认识，并对未来的技术发展方向有了更清晰的判断。

读完《SOI CMOS技术及其应用》，我最大的感受就是内容的全面性和深度。作者似乎将自己多年的研究成果和实践经验毫无保留地倾注在这本书中。我一直对集成电路的物理效应和器件特性非常感兴趣，而SOI CMOS技术之所以吸引我，很大程度上是因为它打破了传统CMOS技术的局限性，带来了许多令人兴奋的性能提升。这本书恰好系统地梳理了这些优势。书中对SOI技术中的“浮体效应”（Floating Body Effect）和“绝缘栅效应”（Buried Oxide Effect）等关键现象进行了细致的分析，并给出了相应的解决方案和设计技巧。例如，关于浮体效应可能引起的器件参数漂移和暂态行为，作者不仅解释了其物理机理，还探讨了如何通过设置源漏接地（Ground-Source）、增加背栅（Back-Gate）或引入优化结构来有效抑制这些不利影响。这对于我理解SOI器件的可靠性和稳定性至关重要。在应用方面，书中对SOI CMOS在数字逻辑电路、模拟电路、射频电路以及功率电路等各个细分领域的应用进行了深入探讨，并通过大量的实例，展示了SOI技术如何实现更高的速度、更低的功耗和更好的可靠性。我尤其被书中关于SOI在高性能计算领域应用的讨论所吸引，其中详细介绍了SOI技术如何赋能下一代CPU和GPU，通过更高的时钟频率和更低的动态功耗来提升计算能力。书中对3D TSV（Through-Silicon Via）与SOI技术的结合也进行了展望，预示着未来集成电路封装技术的发展方向。更让我印象深刻的是，书中对于新一代SOI技术，例如超薄体SOI（UTSOI）和全耗尽SOI（FD-SOI）的讨论，深入剖析了它们在实现更小尺寸、更低阈值电压和更优越的亚阈值摆幅方面的优势，以及这些优势如何在移动通信、物联网等领域转化为实际的产品特性。这本书的文字风格严谨而不失生动，学术性很强，但又不至于让初学者望而却步。

这本书的内容详实且具有很高的参考价值，为我了解 SOI CMOS 技术提供了坚实的基础。《SOI CMOS技术及其应用》一书，从基础原理到实际应用，几乎涵盖了SOI CMOS 技术的方方面面。我特别欣赏作者对 SOI 技术核心优势的阐释，例如其在“降低漏电”（Reduced Leakage）和“提高器件速度”（Improved Device Speed）方面的表现。书中对“浮体效应”（Floating Body Effect）的深入分析，以及作者提出的各种缓解和利用该效应的技巧，对于我理解 SOI 器件的设计和优化至关重要。例如，书中详细介绍了如何通过“接触式浮体”（Contacted Floating Body）设计来有效地控制浮体效应，从而获得更稳定的器件特性。在应用方面，书中对 SOI CMOS 在数字逻辑、模拟电路、射频电路以及功率电路等各个领域的应用进行了详尽的介绍，并且引用了大量的实际产品案例。我尤其关注书中关于 SOI 技术在高性能计算领域应用的讨论，其中详细介绍了 SOI 技术如何赋能下一代 CPU 和 GPU，通过更高的时钟频率和更低的动态功耗来提升计算能力。书中还涉及了 SOI 技术在汽车电子领域的应用，特别是其在高性能传感器和控制单元中的优势，比如更好的抗辐射能力和高温稳定性。作者还对新一代 SOI 技术，如 FD-SOI（全耗尽 SOI）和 UT-SOI（超薄体 SOI）进行了介绍，并分析了它们在实现更小尺寸、更低功耗和更优越的性能方面的潜力。这本书的广度和深度都让我印象深刻，为我全面掌握 SOI CMOS 技术提供了重要的学习资源。

SOI技术的入门书

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