本書概要地介紹MEMS的設計與製造,全書共分7章,內容包括:MEMS的概論,MEMS的設計,集成電路(IC)基本製造技術,MEMS的製造技術,微傳感器,微執行器以及MEMS的應用及檢測技術。
本書針對非微電子專業的高年級本科生和研究生學習MEMS技術之用。通過對本書的學習,使讀者能夠在集成電路製造技術方麵,獲得必要的知識,同時對MEMS的設計與製造有一個比較完整的瞭解,為開展MEMS的研究奠定必要的基礎。
發表於2024-11-27
微機電係統設計與製造 2024 pdf epub mobi 電子書 下載
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