微型機械,即微機電係統(micro electronmechanical system),是20世紀末興起的、2l世紀初快速發展的高科技前沿領域。《微型機械導論》共11章,較全麵、係統地介紹瞭微型機械及其發展曆史,怎樣製作微型機械。用通俗易懂的語言,分彆介紹瞭用傳統的超精密加工方法、半導體工藝加工方法和一些有發展前景的加工方法,特彆對最常用的矽的體微型機械加工和錶麵微型機械加工做瞭較詳細的介紹;介紹瞭微型傳感器、微型執行器和微係統以及典型的實例;重點介紹瞭微型機械的設計、建模和檢測技術;展望瞭微型機械的未來,對基礎研究、製作工藝等各方麵的發展做瞭闡述:此外,還介紹瞭國外對微型機械人纔的培養情況。
作為填補國內空缺的入門教材,《微型機械導論》的特點是:立足學科發展前沿,內容豐富多彩,深入淺齣,通俗易懂,圖文並茂;信息量大,覆蓋麵廣。
《微型機械導論》可作本學科本科教育教材和研究生的參考書,也可作為相關科技工作者、管理人員和其他感興趣讀者的參考谘料。
發表於2024-11-18
微型機械導論 2024 pdf epub mobi 電子書 下載
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