全書共分8章，主要內容有：真空材料的錶麵淨化處理、真空材料的除氣、真空係統的檢測技術、真空係統內殘餘氣體的分析與測量、真空係統的操作與維護、真空工程用焊接技術、真空工程封接技術、真空器件的電擊穿及預防措施。
本書集基礎理論和實踐應用技術於一體，理論與工程實踐有機結閤，適閤於真空技術、薄膜與錶麵工程、材料工程、低溫工程、應用物理、機械設計等行業從事研究、設計、設備操作與維護的技術人員，也適用於進行與真空技術相關的科學研究及實驗的技術人員和學生，還可作為大專院校相關專業師生的教材及參考書。
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內容比較豐富，但是比較泛。可以放在手邊，需要的時候翻一翻。書中有些圖示符號不統一。
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