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发表于2024-10-05

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出品人:
页数:500
译者:
出版时间:2007-7
价格:78.00元
装帧:
isbn号码:9787564107840
丛书系列:

图书标签: MEMS  CMOS   

CMOS MEMS 技术与应用 2024 pdf epub mobi 电子书 图书描述

本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。CMOS电路技术是当今微电子的主流技术，本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术；CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。

本书由国际上20余位知名专家撰写，内容丰富，参考文献全面。适合于微电子技术、微机电系统（MEMS）技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。

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