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Reliability of Mems

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Reliability of Mems pdf epub mobi 圖書描述

This first book to cover exclusively and in detail the principles, tools and methods for determining the reliability of microelectromechanical materials, components and devices covers both component materials as well as entire MEMS devices. Divided into two major parts, following a general introductory chapter to reliability issues, the first part looks at the mechanical properties of the materials used in MEMS, explaining in detail the necessary measuring technologies -- nanoindenters, bulge methods, bending tests, tensile tests, and others. Part Two treats the actual devices, organized by important device categories such as pressure sensors, inertial sensors, RF MEMS, and optical MEMS.

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發表於2025-01-25

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出版者:John Wiley & Sons Inc
作者:Hierold, Christofer 編
出品人:
頁數:324
譯者:
出版時間:
價格:$ 255.00
裝幀:HRD
isbn號碼:9783527314942
叢書系列:

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