《微机电系统基础(英文版)》全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文的前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼了四个典型的传感器实例；惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工业制造这些传感器的方法，既便于比较，又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。
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MEMS方面最棒的书了吧，分成了各种应用，和几个基本的process，有针对的查阅比较不错。
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