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发表于2024-10-04

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页数:648
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出版时间:2008-2
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isbn号码:9787302151968
丛书系列:

图书标签: MEMS  微电子  教材  专业   

微系统设计与制造 2024 pdf epub mobi 电子书 图书描述

《微系统设计与制造》介绍微系统的基础理论、分析设计方法和制造技术，以及前沿应用领域的多种典型器件，主要内容包括：微系统基本力学、微系统制造技术、微型传感器、微型执行器、射频微系统（PF MEMS)、光学微系统（MOEMS)、生物医学微系统（BioMEMS)以及微流体与芯片实验室。《微系统设计与制造》强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍典型器件的设计和制造方法以及重点和前沿应用研究领域，力争展示微系统的全貌。微系统（MEMS是一门多学科高度交叉的前沿学科领域，其设计、制造和应用广泛涉及到物理学、化学、力学、微电子学、、光学、生物医学、和控制工程等多个学科。

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