《碳納米管場發射顯示器製造與可靠性技術》共分六章。第1章緒論,從真空微電子學發展的曆程和麵臨的挑戰以及碳納米管場發射顯示器研究現狀和存在的主要問題,提齣瞭《碳納米管場發射顯示器製造與可靠性技術》的研究內容和研究思路。第2章碳納米管及其場發射陰極的製備方法,本章的立足點在於介紹基於碳納米管的場發射陰極的製備方法,而不是一般意義上的碳納米管的製備方法。第3章移植法製備場發射陰極薄膜工藝,重點介紹瞭碳納米管場發射陰極的絲網印刷製備工藝及所製備的陰極的場發射特性,並提齣瞭一種用於處理印刷碳納米管場發射陰極場的後處理方法,該方法可使基於絲網印刷工藝製備的碳納米管場發射陰極的發射特性和發光均勻性得到顯著改善。第4章印刷碳納米管薄膜場發射過程中的電子輸運,介紹瞭金屬自由電子模型、金屬的錶麵勢壘及逸齣功、場發射現象及其基本規律,並用量子力學方法對印刷碳納米管薄膜錶麵的電子透射率進行模擬,獲得瞭印刷碳納米管薄膜中的電子輸運的基本情況。第5章碳納米管場發射顯示器的製造工藝,介紹采用完全絲網印刷技術製造碳納米管場發射顯示器,並對製造工藝進行瞭詳細介紹。第6章全印刷碳納米管場發射顯示器可靠性技術,研究瞭影響碳納米管場發射顯示器穩定性的因素,通過對銀漿印刷層和CNT印刷層進行共燒結處理,改善瞭CNT與襯底的接觸,結閤排氣時的除氣處理,使器件的發光穩定得到大幅度提高。此外對器件的失效機理進行瞭研究,通過適當的老練使真空擊穿得到有效預防。
發表於2024-11-20
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