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MEMS可靠性 2024 pdf epub mobi 電子書 下載

MEMS可靠性
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MEMS可靠性 pdf epub mobi 著者簡介

MEMS可靠性 pdf epub mobi 圖書描述

《MEMS可靠性》是國際上MEMS可靠性領域第一本專著，共分為兩部分。第一部分論述MEMS材料的可靠性內容及主要錶徵方法，包括MEMS材料的可靠性，微納壓痕儀，鼓脹測試，彎麯測試，單軸張應力測試，片上測試；第二部分論述MEMS器件的可靠性，包括壓力傳感器可靠性，慣性傳感器可靠性，RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。內容新穎，數據充實，適閤於微機電係統、微電子、光電子、傳感器、通訊技術領域的高年級大學生、研究生和工程技術人員參考。

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發表於2024-07-08

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作者:
出品人:
頁數:246
譯者:
出版時間:2009-3
價格:50.00元
裝幀:
isbn號碼:9787564115753
叢書系列:

圖書標籤:  

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