Reactive Sputter Deposition 2024 pdf epub mobi 電子書 下載

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Reactive Sputter Deposition pdf epub mobi 著者簡介

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Reactive Sputter Deposition pdf epub mobi 圖書描述

The use of thin films is continuously expanding. In the family of Physical Vapour Deposition techniques, sputtering is one of the most important over the past 40 years. In this book, all aspects of the reactive magnetron sputtering process, from the discharge up to the resulting thin film growth, are described in detail, allowing the reader to understand the complete process. Hence, this book gives necessary information for those who want to start with reactive magnetron sputtering, understand and investigate the technique, control their sputtering process and tune their existing process, obtaining the desired thin films.

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發表於2024-12-26

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