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微機械與微細加工技術

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《微機械與微細加工技術》內容簡介:微機械被譽為21世紀最具代錶性的技術之一。《微機械與微細加工技術》共分8章,結閤作者近年來的研究工作,係統地介紹瞭微機械學科的起源、發展過程及當前國內外該學科的研究內容與成果,內容包括微機械理論基礎、微機械材料與微結構、微細加工技術、準分子激光微細加工技術、微檢測技術、微傳感器、微緻動器及其它微器件、典型微型電子機械係統與微機器人等等。《微機械與微細加工技術》可供從事微機械研究的科技人員使用,也可供相關學科的師生參考。

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發表於2024-11-26

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作者:苑偉政
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isbn號碼:9787561212745
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圖書標籤: 微加工   


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