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矽單晶拋光片的加工技術
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矽單晶拋光片的加工技術 pdf epub mobi 著者簡介

矽單晶拋光片的加工技術 pdf epub mobi 圖書描述

本書在內容上采取由淺入深的方式，在介紹半導體矽及集成電路有關知識的同時，簡單介紹半導體工業及國內、國外半導體材料矽單晶、拋光片技術的發展和動態，重點闡述瞭矽單晶拋光片的加工製備技術，大直徑矽片的運、載，矽單晶、拋光片的測試，潔淨室技術及三廢處理等內容。並且，書中附有大量的圖、錶等資料以供讀者參考。

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出版者:化學工業齣版社
作者:張厥宗
出品人:
頁數:304
譯者:
出版時間:2005-8
價格:35.00元
裝幀:精裝
isbn號碼:9787502572242
叢書系列:

圖書標籤: 工藝  材料   

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