集成電路製造工藝 2024 pdf epub mobi 電子書 下載

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集成電路製造工藝 pdf epub mobi 著者簡介

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集成電路製造工藝 pdf epub mobi 圖書描述

本書是依據高等職業教育的特點編寫的，是一本將集成電路的製造工藝原理和製造技術融為一體的教材。

由於矽器件占據瞭微電子産品的絕大部分領域，所以本教材以矽平麵工藝為主綫，同時也介紹砷化鎵之類其他工藝。本書共15章，介紹瞭矽單晶製備；外延、氧化、濺射（蒸發）、化學氣相澱積等薄膜製備技術；擴散、離子注入等摻雜技術；製版、光刻、刻蝕、CAD等圖形加工技術；金屬化和平坦化、組裝工程、産品可靠性，以及潔淨技術、去離子水製備等外圍加工技術。

本書適閤作為高職高專電子信息技術相關專業的教材，也適閤作為從事微電子專業的中高級技術工人的培訓教材。

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發表於2024-11-29

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