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微纳加工中的精密工件台技术 2024 pdf epub mobi 电子书

微纳加工中的精密工件台技术
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发表于2024-12-23

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出版者:北京工业大学出版社
作者:刘俊标等
出品人:
页数:278
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出版时间:2004-12
价格:45.00元
装帧:简裝本
isbn号码:9787563914326
丛书系列:

图书标签: 微电子  技术  必读  微纳   

微纳加工中的精密工件台技术 2024 pdf epub mobi 电子书 图书描述

《微纳加工中的精密工件台技术》是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”中的一个分册。它与已出版的《电子束曝光微纳加工技术》一书相辅相成，重点讲述微纳加工中的关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。全书分为九章。第一章 讲述精密工件台的组成、发展现状和主要技术指标。第二章 至第五章 系统介绍精密测量技术、驱动技术、直线导向技术的工作原理、技术特点和选用准则。第六章 通过实例阐明微位移技术的原理及结构特点。第七章 和第八章 讲述精密工件台的控制系统、精度分析及精度补偿方法。第九章 主要介绍精密工件台在微电子产业、精密测量、生物芯片技术、纳米表面形貌测量和纳米加工设备中的具体应用和发展前景。

在当前微纳加工技术迅猛发展和相关专著及技术图书十分匮乏的情况下，《微纳加工中的精密工件台技术》的出版对促进我国微纳加工技术的研发工作必将起到积极的作用。

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