微納米測量技術 2024 pdf epub mobi 電子書 下載

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微納米測量技術 pdf epub mobi 著者簡介

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微納米測量技術 pdf epub mobi 圖書描述

本書講述瞭微納米測量技術的基本理論和方法、微納米測量係統的工作原理及構成以及對不同物理量的微納米測量應用。

全書共4章，內容包括：微納米測量技術的意義、特點和研究的內容；微型傳感器的工作原理及其典型應用；微納米測量技術中的光學方法，光學測量係統的結構及應用；微納米尺度的幾何量、錶麵粗糙度、錶麵微觀形貌、MEMS材料機械特性、微應力和微應變、微位移、速度和加速度、振動、聲和超聲等典型物理量的測量技術應用。

本書可作為高等院校微機電係統工程、測控、儀器、自動化、機電一體化等專業的本科生和研究生教材，也可作為工程技術人員的參考書。

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發表於2024-11-27

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