《現代光學薄膜技術》第一篇主要介紹光學薄膜特徵的理論計算、光學多層膜的設計理論和技術,由唐晉發教授編寫。第二篇主人介紹光一膜的製造技術,包括以物理氣相澱積技術為代錶的成膜技術,涵蓋真空設備、薄膜材料、製備參數控製技術、薄膜厚度監控技術、膜厚均勻性以及製備參數對薄膜微觀結構影響等。第三篇主要介紹薄膜光學特性與光學常數的檢測技術、薄膜機械性能的評價技術等。由於光學薄膜技術又是一門交叉性很強的學科,涉及到光電技術、計算機、真空技術、材料科學、自動控製技術等領域。
發表於2024-12-27
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