《薄膜晶體管(TFT)陣列製造技術》主要介紹非晶矽(amorphous silicon, a-Si)TFT陣列大規模生産的製造技術。高質量的平闆顯示器的核心是薄膜晶體管(thin film transistor, TFT)矩陣的特性和製造技術。全書共13章,從TFT元件的結構及特點,到TFT檢查與修復,包括TFT陣列製作清洗工藝、成膜工藝、光刻工藝、不良解析和檢查修復。《薄膜晶體管(TFT)陣列製造技術》從TFT陣列大規模製造的角度,第一次比較全麵地介紹瞭TFT-LCD生産綫的TFT陣列製造工藝技術、工藝參數、生産工藝技術管理、工藝材料規格、設備特性、品質控製、産品技術解析;以工藝原理、設備參數控製、材料特性要求、生産工藝文件要求等大規模生産技術要素為核心,比較完整地介紹瞭現代化信息製造業的工藝流程與工藝管理。
發表於2024-12-25
薄膜晶體管 2024 pdf epub mobi 電子書 下載
圖書標籤: 半導體 TFT 薄膜晶體管陣列製造技術 工藝 業務
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