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发表于2024-11-19

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isbn号码:9780471078289
丛书系列:

图书标签: 电子  physics   

Glow Discharge Processes 2024 pdf epub mobi 电子书 图书描述

Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.

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