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Handbook of Sputter Deposition Technology

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发表于2024-12-22

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作者:Kiyotaka Wasa
出品人:
页数:320
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出版时间:1992-02-01
价格:USD 140.00
装帧:Hardcover
isbn号码:9780815512806
丛书系列:

图书标签: sputter   


Handbook of Sputter Deposition Technology 2024 pdf epub mobi 电子书 图书描述

This book presents a concise, comprehensive overview of sputter deposition technology, a key technology for materials research in the next decade. Cathode sputtering is widely used in the microelectronics industry for silicon integrated circuit production and for metallurgical coatings. High temperature superconductors can be synthesized with sputtering under non-equilibrium conditions. Diamond films and ferroelectric materials are other applications.

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