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发表于2024-09-20

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作者:林成鲁
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页数:468
译者:
出版时间:2009-6
价格:88.00元
装帧:
isbn号码:9787312022333
丛书系列:

图书标签:  


SOI 2024 pdf epub mobi 电子书 图书描述

《SOI:纳米技术时代的高端硅基材料》讲述了:绝缘体上硅(silicon on insulator,SOI)技术在高速、低压低功耗电路、高压电路、抗辐射、耐高温电路、微机械传感器、光电集成等方面具有重要应用,是微电子和光电子领域发展的前沿,被国际上公认为“二十一世纪的硅集成电路技术”。《SOI:纳米技术时代的高端硅基材料》收集的纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇,主要内容包括:SOI——纳米技术时代的高端硅基材料进展,SOI新材料的制备科学,SOI材料与器件特有的物理效应,绝缘体上锗硅(silicon germanium on insulator,SGOI)新结构和应变硅的制备科学,SOI技术的若干应用研究等。书中包含了高端硅基材料前沿领域的多方面创新研究成果。《SOI:纳米技术时代的高端硅基材料》可作为微电子、光电子、微机械、半导体材料、纳米材料等专业的大专院校师生和专业技术人员重要的参考书,也可以作为信息领域其他专业的师生、科研人员和工程技术人员参考资料。

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