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SOI pdf epub mobi 圖書描述

《SOI:納米技術時代的高端矽基材料》講述瞭：絕緣體上矽（silicon on insulator，SOI）技術在高速、低壓低功耗電路、高壓電路、抗輻射、耐高溫電路、微機械傳感器、光電集成等方麵具有重要應用，是微電子和光電子領域發展的前沿，被國際上公認為“二十一世紀的矽集成電路技術”。《SOI:納米技術時代的高端矽基材料》收集的納米技術時代的高端矽基SOI材料方麵的研究論文40篇，主要內容包括：SOI——納米技術時代的高端矽基材料進展，SOI新材料的製備科學，SOI材料與器件特有的物理效應，絕緣體上鍺矽（silicon germanium on insulator，SGOI）新結構和應變矽的製備科學，SOI技術的若乾應用研究等。書中包含瞭高端矽基材料前沿領域的多方麵創新研究成果。《SOI:納米技術時代的高端矽基材料》可作為微電子、光電子、微機械、半導體材料、納米材料等專業的大專院校師生和專業技術人員重要的參考書，也可以作為信息領域其他專業的師生、科研人員和工程技術人員參考資料。

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