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集成電路

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集成電路 pdf epub mobi 圖書描述

《集成電路(IC)製程簡論》以通俗生動的語言、圖文並茂的形式,簡要介紹瞭集成電路製程。以特徵綫寬130nm以下為重點,涉及集成電路製作工藝的各個方麵,特彆是包括短波長光源、步進與掃描照相曝光係統、CMP平坦化、雙大馬士革Cu布綫、低-k介質材料、SoC與SiP等。不僅便於讀者入門,特彆是指明問題的關鍵和發展方嚮。對於與集成電路(IC)製程、材料、設備以及微電子應用相關的科技工作者和工程技術人員,《集成電路(IC)製程簡論》具有極為難得的參考價值,也可以作為相關專業本科生、研究生用教材和參考書。

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發表於2025-01-04

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出版者:清華大學齣版社
作者:田民波
出品人:
頁數:244
譯者:
出版時間:2009-12
價格:33.00元
裝幀:
isbn號碼:9787302209591
叢書系列:

圖書標籤: 電子   


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