微機電係統技術,是在20世紀80年代後期國際上興起的一項高新技術。本書先由微機電係統入手,然後介紹微弱信號檢測的一些背景知識,重點闡述瞭微弱信號檢測的方法與技術,以及針對微器件不同的檢測方式,詳述其檢測原理與檢測方法,最後選取典型的微器件介紹瞭其微弱信號檢測的實用電路。 本書內容翔實,理論聯係實際,可操作性強,既可作為涉及電子噪聲、低噪聲設計、電磁兼容性、微弱信號檢測的工程技術人員參考讀物,又可作為微電子、自動化、電子工程、物理、生物醫學工程、測試技術與儀器等專業的研究生和高年級本科生教材。
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