本書主要介紹瞭洗淨主體材料的基本性能,廠房淨化技術及原理,高純氣體製備,超純試劑的純化等內容;還著重論述瞭現有常用洗淨方法和技術,詳述瞭一些典型洗淨範例,尤其是電子行業的清洗。同時,也介紹瞭新型的清洗技術和方法。通過學習本書可以為掌握現有的洗淨技術和原理,並進一步優化和創新新方法、新技術奠定良好的基礎。 本書編寫過程中參考瞭大量國內外洗淨技術專業資料,著重基本概念的闡述,同時反映近年來洗淨技術領域的新技術、新成果。可作為高等院校相關專業教材,也可作為教師、研究生的專業參考書,還可供企業及科研單位的專業技術人員參考。
發表於2024-12-29
洗淨技術基礎 2024 pdf epub mobi 電子書 下載
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