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微电子机械系统 2024 pdf epub mobi 电子书

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发表于2024-05-19

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作者:姜岩峰
出品人:
页数:194
译者:
出版时间:2006-3
价格:28.00元
装帧:简裝本
isbn号码:9787502581589
丛书系列:

图书标签: 微电子机械系统   

微电子机械系统 2024 pdf epub mobi 电子书 图书描述

本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结

构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部

分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺

，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构

和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，最后阐述

了MEMS系统仿真方面的内容。

本书适合于高等院校微电子专业本科生或研究生教学参考使用，也可供

从事MEMS领域研究的科技人员参考。

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