本書介紹瞭微電子機械係統(MEMS)相關的基礎知識、主要工藝和器件結
構等方麵內容,對該領域的熱點研究問題進行瞭探討。主要內容分為五個部
分,首先講述瞭MEMS的相關力學量測量方法,然後介紹瞭MEMS中的主要工藝
,在此基礎上,係統介紹瞭MEMS係統中的傳感器,包括傳感器的原理、結構
和實現方法,另外對MEMS器件的使用方法和應用範圍進行瞭討論,最後闡述
瞭MEMS係統仿真方麵的內容。
本書適閤於高等院校微電子專業本科生或研究生教學參考使用,也可供
從事MEMS領域研究的科技人員參考。
發表於2024-12-25
微電子機械係統 2024 pdf epub mobi 電子書 下載
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