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用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 2024 pdf epub mobi 電子書 下載

用於惡劣環境的碳化矽微機電係統
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用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 pdf epub mobi 著者簡介

用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 pdf epub mobi 圖書描述

《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》內容簡介：碳化矽以其優異的溫度特性、電遷移特性、機械特性等，越來越被微電子和微機電係統研究領域所關注，不斷有新的研究群體介入這一材料及其應用的研究。《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》是目前譯者見到的唯一一本係統論述碳化矽微機電係統的著作，作者是來自英國、美國從事碳化矽微機電係統研究的幾位學者，他們係統綜述瞭碳化矽生長、加工、接觸、腐蝕和應用等環節的技術和現狀，匯聚瞭作者大量的經驗和智慧。

《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》可供從事微電子、微機械研究的科研人員參考閱讀，也可以作為研究生專業課程教材或參考書目。

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發表於2024-11-10

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出版者:
作者:張
出品人:
頁數:121
譯者:
出版時間:2010-3
價格:35.00元
裝幀:
isbn號碼:9787030268624
叢書系列:

圖書標籤:  

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